Делегация МГТУ посетила рабочую встречу по приборостроению
В МФТИ состоялась рабочая встреча министра науки и высшего образования РФ Валерия Фалькова с коллективами разработчиков научных приборов гражданского назначения, а также с представителями научных организаций.
В мероприятии приняла участие делегация МГТУ им. Н.Э. Баумана в составе проректора по науке и цифровому развитию Павла Дроговоза, куратора программы научного приборостроения МГТУ Павла Платонова и директора НОЦ «Ионно-плазменные технологии» Сергея Ивахненко.
Коллектив Бауманского университета представил макет бессеточного источника ионов. В этом изделии реализована технология ионной бомбардировки для формирования и травления тонкоплёночных слоёв при создании прецизионной оптики и микроэлектроники в научном приборостроении.
В результате работ по проекту будет создана импортозамещающая линейка бессеточных технологических источников ионов для использования в процессах плазменного и ионного травления, осаждения из газовой фазы и электронно-лучевого нанесения покрытий.
Основными функциями прибора являются:
-
ассистирование при нанесении покрытий;
-
очистка поверхности от загрязнений;
-
травление поверхности;
-
нанесение покрытий.
К преимуществам представленной разработки относятся:
-
широкий ионный пучок, обеспечивающий большую область обработки;
-
низкая энергия ионов (10 — 200 эВ), позволяющая снизить повреждения обрабатываемой поверхности и обеспечить малое внедрение ионов рабочего газа;
-
большой ионный ток, дающий высокую скорость процесса обработки.
В настоящее время командой разработчиков МГТУ им. Н.Э. Баумана под руководством Сергея Ивахненко изготовлены макеты ионных источников трёх типов — с максимальным током разряда 5, 10 и 15 А. Бауманцами были проведены испытания макетов, доказавшие, что характеристики соответствуют основным требованиям технического задания на опытно-конструкторской работе, а также, что разработанные макеты по ряду параметров превосходят зарубежные аналоги.
Технический проект успешно прошёл защиту на комиссии Минобрнауки России. Потребность отечественной науки в таких изделиях составляет порядка 20-30 изделий ежегодно.
Фото: Пресс-служба МФТИ
Источник: Пресс-служба МГТУ им. Н. Э. Баумана
Назад к списку
